條件篩選
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臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用
在過(guò)去的幾年中，臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越受到重視，特別是在晶圓清洗過(guò)程。 在半導(dǎo)體行業(yè)，清潔度是一個(gè)絕對(duì)的要求。即使是很小的污染物痕跡也會(huì)導(dǎo)致晶圓表面區(qū)域結(jié)構(gòu)的